| 1274 | Erste Erwähnung des Dorfes "Owa" |
| 1276 | Erste Erwähnung des Personennamens "Ulricus de Ouwa"; hieraus begründet sich die Annahme, dass 1276 ein Herrensitz im Ort bestand |
| 1433 | Unterscheidung zwischen Oberau und Niederau; Bernhard von Miltitz erwirbt Oberau |
| 1436 | Verkauf an das Kloster Altzella |
| 1543 | Kurfürst Moritz übergiebt Oberau dem Kaspar von Ziegelheim als Lehen |
| 1550-1783 | Besitz der Herren von Miltitz |
| um 1600 | Erweiterung des Gebäudes und Umbau zu einem Renaissanceschloss durch den kursächsischen Steuereinnehmer Alexander von Miltitz |
| 1784 | Stallmeister Carl Friedrich von Schönberg überlässt das Gut dem Chemnitzer Kaufmann Hiller |
| 1807 | Ernst Friedrich Freiherr von Werthern, späterer Kanzler und Konferenzminister des Königreichs Sachsen, lässt sich in Oberau nieder |
| nach 1860 | Hinzufügung eines weiteren Flügels |
| 1865 | Henning von Arnim erwirbt das Schloss |
| 1937 | Schloss steht unter Denkmalschutz |
| nach 1945 | Einrichtung von Wohnungen; Hofgebäude werden LPG |
| 1999 | Arbeitskreis Denkmalpflege e.V. übernimmt das Schloss |
| 2012 | Gründung des Fördervereins Wasserschloss Oberau e.V. |